深圳中科飞测智能制造高精度自动化检测团队:填补光学检测技术空白的拓荒人
深圳中科飞测智能制造高精度自动化检测团队创建于2016年。作为项目牵头团队,他们承担了国家科技部重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项、国家科技重大专项02专项“20-14nm晶圆缺陷光学在线检测的研发与产业化”项目,组织建立了深圳中科飞测科技有限公司院士工作站,成为深圳市首批、龙华区首个院士工作站。依托团队力量,成立了深圳市博士后创新实践基地、广东省博士工作站、广东省院士专家企业工作站。该团队自主研发的光学检测技术,填补了国内集成电路先进封装检测设备在高端市场的空白。